[29a-PB6-1~13] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[29a-PB6-6] MOVPEを用いたGaN/AlN共鳴トンネルダイオードの作製 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○永瀬成範，高橋言緒，清水三聡 (産総研)

キーワード：共鳴トンネルダイオード、窒化ガリウム、有機金属気相成長法