[29p-A3-1~6] 16.2 Processing technologies and devices

[29p-A3-3] Crystallization of Amorphous Ge Films by Flash Lamp Annealing

^○Keisuke Ohdaira^1,2, Hideki Matsumura¹ (JAIST¹, JST PRESTO²)

Keywords:フラッシュランプアニール、多結晶ゲルマニウム、結晶化