[29p-B8-1~10] シリコン系薄膜形成技術の新展開

[29p-B8-1] 貼り合わせハイブリッド基板とその応用（30分) (1:30 PM ～ 2:00 PM)

^○久保田芳宏，飛坂優二，秋山昌次，諏訪剛史，永田和寿，小西繁，川合信 (信越化学工業)

キーワード：シリコン