[29p-B8-1~10] シリコン系薄膜形成技術の新展開

[29p-B8-2] シリコンバルク多結晶の融液成長における組織・欠陥制御（30分） (2:00 PM ～ 2:30 PM)

^○宇佐美徳隆 (東北大金研)

キーワード：欠陥制御、融液成長、多結晶