[29p-B8-1~10] シリコン系薄膜形成技術の新展開

[29p-B8-3] 溶液プロセスによるSi薄膜の作製と電子デバイス応用（30分） (2:30 PM ～ 3:00 PM)

^○下田達也^1,2,3，増田貴史^1.2，松木安生^2,4 (北陸先端大¹，科学技術振興機構²，科学技術振興機構³，JSR⁴)

キーワード：液体シリコン、シクロペンタシラン、Si TFT