[29p-B8-1~10] シリコン系薄膜形成技術の新展開

[29p-B8-5] ガラス上シリコン薄膜の高品質化とデバイス応用（30分） (3:45 PM ～ 4:15 PM)

^○原明人¹，北原邦紀² (東北学院大工¹，島根大総合理工²)

キーワード：薄膜トランジスタ、多結晶シリコン