[29p-B8-1~10] シリコン系薄膜形成技術の新展開

[29p-B8-7] 大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるa-Si膜の超高速結晶成長 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○林将平^1,2，藤田悠二¹，森崎誠司¹，上倉敬弘¹，赤澤宗樹¹，酒池耕平¹，東清一郎¹ (広大院先端研¹，学振特別研究員ＤＣ²)

キーワード：マイクロ熱プラズマジェット、結晶化、シリコン