2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ診断・計測

[29p-B9-12~14] 8.2 プラズマ診断・計測

2013年3月29日(金) 16:30 〜 17:15 B9 (K2号館 4F-1407)

[29p-B9-14] ▼Simultaneous Monitoring of Optical Emission and Electron Density by Opt-curling Probe (5:00 PM ~ 5:15 PM)

○(M2)Anil Pandey1, Kimitaka Kato1, Shunjiro Ikezawa1, Keiji Nakamura1, Hideo Sugai1 (Chubu University1)

キーワード:Microwave resonator、 Opto-curling probe