[29p-F1-1~17] 6.4 薄膜新材料

[29p-F1-8] コプラナー型沿面放電による磁場下での酸化スズ膜の形成 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

花井利通，伊豫田正彦，鍋田圭吾，^○奥谷昌之 (静岡大工)

キーワード：沿面放電、酸化スズ、プラズマ