[29p-F1-1~17] 6.4 薄膜新材料

[29p-F1-9] 沿面放電による常温・大気圧下での酸化スズ薄膜の作製 (4:30 PM ～ 4:45 PM)

^○丹祐人，花井利通，伊豫田正彦，奥谷昌之 (静岡大)

キーワード：沿面放電、酸化スズ、プラズマ