[29p-F2-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[29p-F2-19] ICP支援スパッタ法による Ti/Si(100)上へのVO₂薄膜の低温成長と積層方向スイッチング (6:45 PM ～ 7:00 PM)

^○シュルズ モハメッド，沖村邦雄 (東海大院工)

キーワード：二酸化バナジウム、積層方向スイッチング