[29p-G14-1~20] 12.1 作製技術

[29p-G14-6] イオン液体へのカーボン蒸着によるナノ構造薄膜の作製 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○武山洋子^1,2，松本祐司²，近藤道雄³ (福島大¹，東工大応セラ研²，産総研³)

キーワード：イオン液体、カーボン薄膜、ナノ構造