[29p-G19-1~17] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29p-G19-2] △IGZO TFTにおける光照射による劣化メカニズムの解析 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○（DC）上岡義弘¹，石河泰明¹，Um Jae Gwang²，Bermundo Juan Paolo¹，山﨑はるか¹，浦川哲¹，堀田昌宏¹，Jang Jin²，浦岡行治¹ (奈良先端大¹，Kyung Hee Univ.²)

キーワード：IGZO、信頼性、DOS