[29p-G19-1~17] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29p-G19-4] IGZO膜のナノ結晶の存在について (2:45 PM ～ 3:00 PM)

^○高橋正弘，廣橋拓也，津吹将志，太田将志，山﨑舜平 (半エネ研)

キーワード：IGZO、電子線回折