[29p-G2-1~7] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[29p-G2-5] フッ化物バリヤを用いたオールMgB₂ジョセフソン接合の作製 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○相原将人¹，目出和也¹，石丸喜康²，田辺圭一²，内藤方夫¹ (東京農工大院工¹，超電導工研²)

キーワード：ジョセフソン接合、MgB2、薄膜