[29p-G2-1~7] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[29p-G2-6] 超伝導量子ビット用NbN集積回路作製プロセスの検討 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○寺井弘高¹，牧瀬圭正¹，丘偉¹，王鎮¹，中村泰信^2,3 (情通機構¹，東大²，理研³)

キーワード：超伝導量子ビット、NbN集積回路、作製プロセス