[29p-G20-3~20] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[29p-G20-6] Ｓｉドープｐ型ＧａＡｓＳｂのＭＯＣＶＤ成長 (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○横山春喜，星拓也 (NTTフォトニクス研)

キーワード：MOCVD、GaAsSb、Si-doping