[29p-G21-1~21] 15.4 III-V族窒化物結晶

[29p-G21-9] 結合ピラーAlNバッファーを用いた高効率深紫外LEDの検討 (3:30 PM ～ 3:45 PM)

^○富田優志^1,2，豊田史朗^1,2，藤川紗千恵²，鎌田憲彦¹，平山秀樹^1,2 (埼玉大¹，理研²)

キーワード：AlGaN-LED、MOCVD、AlN