[29p-G7-1~19] 14.1 探索的材料物性

[29p-G7-1] ｢講演奨励賞受賞記念講演｣（15分）
BaSi₂エピタキシャル膜における不純物拡散係数の評価 (1:00 PM ～ 1:15 PM)

^○中村航太郎¹，馬場正和¹，Khan M. Ajmal¹，Weijie Du¹，宇佐美徳隆²，原康祐²，都甲薫¹，末益崇^1,3 (筑波大院数¹，東北大金研²，JST-CREST³)

キーワード：不純物拡散、バリウムシリサイド