[29p-G7-1~19] 14.1 探索的材料物性

[29p-G7-12] AgコートしたSi上への高品質鉄シリサイド薄膜の形成 (4:00 PM ～ 4:15 PM)

^○秋山賢輔^1,2，高橋亮¹，松本佳久¹，舟窪浩²，板倉賢³ (神奈川産技セ¹，東工大総理工²，九州大総理工³)

キーワード：鉄シリサイド、β-FeSi2