2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[29p-G7-1~19] 14.1 探索的材料物性

2013年3月29日(金) 13:00 〜 18:00 G7 (B5号館 2F-2201)

[29p-G7-12] AgコートしたSi上への高品質鉄シリサイド薄膜の形成 (4:00 PM ~ 4:15 PM)

秋山賢輔1,2,高橋亮1,松本佳久1,舟窪浩2,板倉賢3 (神奈川産技セ1,東工大総理工2,九州大総理工3)

キーワード:鉄シリサイド、β-FeSi2