[29p-G7-1~19] 14.1 探索的材料物性

[29p-G7-13] △AgコートしたSi上に成長させたβ-FeSi₂薄膜の微細構造解析 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○本村俊一¹，林剛平¹，板倉賢¹，秋山賢輔² (九大総理工¹，神奈川産業技術センター²)

キーワード：鉄シリサイド、電子顕微鏡