[29p-G7-1~19] 14.1 探索的材料物性

[29p-G7-16] 希ガス混合Si薄膜における酸素の低減化Ⅱ (5:00 PM ～ 5:15 PM)

^○奥村竜二¹，羽渕仁恵²，藤田詩織¹，飯田民夫¹，大橋史隆³，久米徹二³，伴隆幸³，野々村修一³ (岐阜高専¹，豊田高専²，岐阜大工³)

キーワード：クラスレート、薄膜、シリコン