2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8. プラズマエレクトロニクス(ポスター講演)

[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

2013年3月29日(金) 13:30 〜 15:30 PA1 (第一体育館)

[29p-PA1-1] ライン状プラズマの生成とターゲット利用率改善 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.3)

○大津康徳1，松本祐樹1，秋山守人2，田原竜夫2 (佐大院工1，産総研2)

キーワード：スパッタリング、ターゲット利用率、永久磁石