[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[29p-PA1-14] n-GaN表面のN2プラズマエッチングダメージ (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.4)

^○新部正人¹，川上烈生²，中野由崇³，小西将士²，森祐太²，小高拓也¹，白濱達夫²，山田哲也²，富永喜久雄²，向井孝志⁴ (兵庫県大高度研¹，徳島大院工²，中部大総工研³，日亜化学⁴)

キーワード：プラズマエッチング、モデリング、表面分析