[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[29p-PA1-15] パルス電源を用いたH₂プラズマによるa-Si 膜クリーニング (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.4)

^○橋本賢治¹，安井晋示¹，真鍋俊樹²，小池国彦² (名工大¹，岩谷産業²)

キーワード：クリーニング