[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[29p-PA1-2] 粉体スパッタプロセスにおけるプラズマの特性 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.3)

^○川崎仁晴，谷山大地，大島多美子，柳生義人，猪原武士，田中雪，須田義昭 (佐世保高専)

キーワード：Sputtering、Powder