[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[29p-PA1-3] RF重畳DCマグネトロンスパッタリングによるAl添加ZnO膜の形成 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.3)

^○松田良信，松岡大智，中島崇迫，山本浩史，篠原正典 (長崎大院工)

キーワード：スパッタリング、酸化亜鉛、透明導電膜