[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[29p-PA1-5] 多目的マイクロ波アンテナを用いたプラズマ生成とSi薄膜形成への応用 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.3)

^○近藤将吾¹，中野優¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ²)

キーワード：プラズマCVD