[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[29p-PA1-7] c-C₄F₈極低温凝縮層への低速電子線照射により合成したa-C:F薄膜の物性評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.3)

^○曽我遥華，和光賢司，山田竜太郎，胡雪冰，佐藤哲也，中川清和 (山梨大院医工学総研)

キーワード：フルオロカーボン、電子線、極低温