[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-10] △微細構造体の分離によるマイクロ予備濃縮器の性能向上 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○柿田直輝¹，宮下英俊¹，岸田悟^1,2，李相錫¹ (鳥取大学工¹，TEDREC²)

キーワード：MEMS、ガス検出器、予備濃縮器