[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-8] CO₂ガスセンサのための波長選択赤外放射 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

澤田貴裕，熊谷慎也，^○佐々木実 (豊田工大)

キーワード：赤外光源、表面プラズモン、ガスセンサ