[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-14] 室温近傍でのプラズマ酸化によるSiO₂/SiC界面でのC原子の偏析 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○齋藤直樹，今福亮斗，西川央明，佐野泰久，川合健太郎，打越純一，森田瑞穂，有馬健太 (阪大院工)

キーワード：SiC、酸化