[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-17] 部分的アモルファス化によるn+ 4H-SiC上のNiシリサイド・オーミック抵抗低減の研究 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（B）デシルワ ミランタ，黒木伸一郎，佐藤旦 (広島大)

キーワード：オーミックコンタクト