[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-18] P添加アモルファスSi結晶化層を介した金属とSiCのコンタクト特性 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○花房宏明，芦原龍平，丸山佳祐，水野翼，林将平，村上秀樹，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：シリコンカーバイド、アモルファスシリコン、コンタクト