[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-21] 4H-SiCへの高ドーズAlイオン注入における注入条件の最適化 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○吉田謙一，長町信治 (イオンテクノセンター)

キーワード：炭化珪素、イオン注入