[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-23] 4H-SiCエピタキシャル層中のショックレー型積層欠陥の構造評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○中村勇，清井明，田中貴規，山本茂久 (三菱電機)

キーワード：SiC、SF