[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-8] SiC熱酸化過程でのSiO₂膜におけるカーボンオキサイド拡散機構の理論的検討 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○秋山亨¹，中村浩次¹，伊藤智徳¹，影島博之²，植松真司³ (三重大院工¹，NTT物性基礎研²，慶大理工³)

キーワード：SiC