[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-9] 4H-SiCエピ膜中積層欠陥への熱酸化の影響について (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○宮野祐太郎，矢口裕之，土方泰斗，八木修平 (埼玉大工)

キーワード：炭化ケイ素