[30a-B1-1~10] 7.2 電子顕微鏡，評価，測定，分析

[30a-B1-10] ラインパターンにおける二次電子放出効率のアスペクト比依存性 (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○備前大輔¹，早田康成¹，数見秀之² (日立中研¹，日立ハイテク²)

キーワード：走査電子顕微鏡、二次電子放出