2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.6 プローブ顕微鏡

[30a-D3-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

2013年3月30日(土) 09:00 〜 12:30 D3 (C5号館 3F-324)

[30a-D3-13] 非線形誘電率顕微鏡法によるNAND-Flashメモリ中の蓄積電子の観察 (12:15 PM ~ 12:30 AM)

本田耕一郎,長康雄 (東北大通研)

キーワード:走査型非線形誘電率顕微鏡、Flashメモリ、蓄積電荷