[30a-F1-1~13] 6.4 薄膜新材料

[30a-F1-5] RFマグネトロンスパッタ法によるSi(100)基板上へのYbN薄膜の形成 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○高橋雅之，大見俊一郎 (東工大)

キーワード：YbN