[30a-F1-1~13] 6.4 薄膜新材料

[30a-F1-8] PLD法を用いたエピタキシャル雲母薄膜の作製条件の検討 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○吉田彬¹，山内涼輔¹，譚ゴオン¹，土嶺信男²，舟窪浩¹，金子智³，松田晃史¹，吉本護¹ (東工大物創¹，豊島製作所²，神奈川産技センター³)

キーワード：雲母