[30a-F2-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[30a-F2-1] CAAC-IGZO TFT技術を応用したNOSRAMのMultilevel Cell実現の可能性 (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○井上広樹，石津貴彦，松嵜隆徳，大貫達也，熱海知昭，塩野入豊，加藤清，小山潤，山﨑舜平 (半導体エネルギー研究所)

キーワード：酸化物半導体、CAAC、IGZO