[30a-G20-1~15] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[30a-G20-9] バイオテンプレート極限加工による3次元アレイGaAsナノディスクの作製 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○Mohd Erman Fauzi^1,5，田村洋典^1,5，肥後昭男²，王云鵬³，杉山正和⁴，中野義昭³，寒川誠二^1,2,5 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²，東大先端研³，東大工⁴，JST-CREST⁵)

キーワード：GaAs、量子ドット、エッチング