[30a-G6-1~11] 13.4 配線技術

[30a-G6-11] △光電子集積三次元LSIのための高効率光カップラの作製 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○乗木暁博¹，李康旭²，裵志哲²，福島誉史²，田中徹^1,3，小柳光正² (東北大院工¹，東北大未来研²，東北大院医工³)

キーワード：三次元LSI、光配線、光電子集積