[30a-G6-1~11] 13.4 配線技術

[30a-G6-3] 原子間力顕微鏡による希薄電解液中でのCu配線腐食のナノスケール評価 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○尾形奨一郎¹，小林成貴¹，高東智佳子²，嶋昇平²，福永明²，淺川雅³，福間剛士^1,3 (金沢大理工¹，荏原製作所²，金大バイオAFMセ³)

キーワード：原子間力顕微鏡、腐食