[30a-G6-1~11] 13.4 配線技術

[30a-G6-9] ビルドアップ工法によるCu配線の高信頼性を実現するバリア技術 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○神吉剛司，池田淳也，須田章一，小林靖志，中田義弘，中村友二 (富士通研究所)

キーワード：再配線、信頼性、Metal-Cap