[30a-G7-1] Si基板上Mgスパッタ膜のアルゴン雰囲気中アニール処理によるMg(sub>2Si膜の合成 (9:00 AM ～ 9:15 AM)
キーワード：マグネシウムシリサイド、薄膜
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性
[30a-G7-1~10] 14.1 探索的材料物性
2013年3月30日(土) 09:00 〜 11:45 G7 (B5号館 2F-2201)
一般セッション(口頭講演)
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2013年3月30日(土) 09:00 〜 11:45 G7 (B5号館 2F-2201)
キーワード：マグネシウムシリサイド、薄膜