[30a-G7-8] 酸素雰囲気下における下地元素の膜表面への偏析予測法 (11:00 AM ～ 11:15 AM)
キーワード：拡散、界面反応
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性
[30a-G7-1~10] 14.1 探索的材料物性
2013年3月30日(土) 09:00 〜 11:45 G7 (B5号館 2F-2201)
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性
2013年3月30日(土) 09:00 〜 11:45 G7 (B5号館 2F-2201)
キーワード：拡散、界面反応