[30a-G7-1~10] 14.1 探索的材料物性

[30a-G7-9] AlGaN/GaN基板に形成したTiSi₂コンタクトの熱処理時間依存性 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○岡本真里 (東工大)

キーワード：AlGaN GaN TiSi₂